去耦合等离子体源

Ⅰ ICP-MS的原理是什么

通过以电感耦合等离子体为离子源，然后以质谱计的无几多元素分析技术。
被分析的样品通常是以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进去由射频能力激发的处于大气压下的氩离子体中心区，等离子体的高温会使样品去溶剂化，汽化解离和电离。

PS,
ICP中心通道温度高达大概在7000K(如果没记错)，引入的样品完全解离，具有搞的单电荷分析物离子产率，低的双电荷离子，氧化物以及其他分子复合离子产率，是比较理想的电子源。

Ⅱ 电感耦合等离子体质谱分析是常见的干扰和消除手段有哪些

关键词：电感耦合等离子体发射光谱法；等离子体发射光光谱仪；应用及领域；化学分析；线性范围；
1 概述
电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)是以等离子体原子发射光谱仪为手段的分析方法，由于其具有检出限低、准确度高、线性范围宽且多种元素同时测定等优点，因此，与其它分析技术如原子吸收光谱、X-射线荧光光谱等方法相比，显示了较强的竞争力。在国外，ICP-AES法已迅速发展为一种极为普遍、适用范围广的常规分析方法，并已广泛应用于各行业，进行多种样品、70多种元素的测定，目前也已在我国高端分析测试领域广泛应用
2 电感耦合等离子体原子发射光谱法简介
2.1 电感耦合等离子体原子发射光谱法的工作原理【1】
感耦等离子体原子发射光谱分析是以射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上，并将等离子炬管置于该线圈中心，因而在炬管中产生高频电磁场，用微电火花引燃，使通入炬管中的氩气电离，产生电子和离子而导电，导电的气体受高频电磁场作用，形成与耦合线圈同心的涡流区，强大的电流产生的高热，从而形成火炬形状的并可以自持的等离子体，由于高频电流的趋肤效应及内管载气的作用，使等离子体呈环状结构。
样品由载气(氩)带入雾化系统进行雾化后，以气溶胶形式进入等离子体的轴向通道，在高温和惰性气氛中被充分蒸发、原子化、电离和激发，发射出所含元素的特征谱线。根据特征谱线的存在与否，鉴别样品中是否含有某种元素(定性分析);根据特征谱线强度确定样品中相应元素的含量(定量分析)。
2.2 电感耦合等离子体原子发射光谱法测定中存在的干扰 [2]
电感耦合等离子体原子发射光谱法测定中通常存在的干扰大致可分为两类:
一类是光谱干扰,主要包括连续背景和谱线重叠干扰;另一类是非光谱干扰,主要包括化学干扰,电离干扰,物理干扰等。因此,除应选择适宜的分析谱线外,干扰的消除和校正也是必须的,通常可采用空白校正,稀释校正,内标校正,背景扣除校正,干扰系数校正,标准加入等方法。
2.3 对仪器的一般要求
等离子发射光谱法光谱仪由样品引入系统,电感耦合等离子(ICP)光源,色散系统,检测系统等构成,并配有计算机控制及数据处理系统,冷却系统,气体控制系统等。样品引入系统 按样品状态不同可以分为液体或固体进样,通常采用液体进样方式。样品引入系统由两个主要部分组成:样品提升部分和雾化部分。样品提升部分一般为蠕动泵,也可使用自提升雾化器。要求蠕动泵转速稳定,泵管弹性良好,使样品溶液匀速地泵入,废液顺畅地排出。雾化部分包括雾化器和雾化室。样品以泵入方式或自提升方式进入雾化器后,在载气作用下形成小雾滴并进入雾化室,大雾滴碰到雾化室壁后被排除,只有小雾滴可进入等离子体源。要求雾化器雾化效率高,雾化稳定性高,记忆效应小,耐腐蚀;雾化室应保持稳定的低温环境,并需经常清洗[3]。常用的溶液型雾化器有同心雾化器,交叉型雾化器等;常见的雾化室有双通路型和旋流型。实际应用中宜根据样品基质,待测元素,灵敏度等因素选择合适的雾化器和雾化室。
电感耦合等离子体光源的"点燃",需具备持续稳定的纯氩气流,炬管,感应圈,高频发生器,冷却系统等条件。样品气溶胶被引入等离子体源后,在6,000K～10,000K的高温下,发生去溶剂,蒸发,离解,激发,电离,发射谱线。根据光路采光方向,可分为水平观察 ICP 源和垂直观察 ICP 源;双向观察ICP。光源可实现垂直/水平双向观察。实际应用中宜根据样品基质,待测元素,波长,灵敏度等因素选择合适的观察方式。电感耦合等离子体原子发射光谱的单色器通常采用光栅或棱镜与光栅的组合,光源发出的复合光经色散系统分解成按波长顺序排列的谱线,形成光谱。 电感耦合等离子体原子发射光谱的检测系统为光电转换器,它是利用光电效应将不同波长光的辐射能转化成电信号。常见的光电转换器有光电倍增管和固态成像系统两类。固态成像系统是一类以半导体硅片为基材的光敏元件制成的多元阵列集成电路式的焦平面检测器,如电荷耦合器件(CCD),电荷注入器件(CID)等,具有多谱线同时检测能力,检测速度快,动态线性范围宽,灵敏度高等特点。检测系统应保持性能稳定,具有良好的灵敏度,分辨率和光谱响应范围。 冷却和气体控制系统 冷却系统包括排风系统和循环水系统,其功能主要是有效地排出仪器内部的热量。循环水温度和排风口温度应控制在仪器要求范围内。气体控制系统须稳定正常地运行,氩气的纯度应不小于99.99%。

Ⅲ 为什么在电感耦合等离子体光源中可消除自吸现象

因为轴心温度低，且中心进样的浓度也不太高对等离子体稳定性影响小。

Ⅳ 等离子体光源的特性

等离子体光源是近代光谱分析中应用最为广泛的光源。等离子体是已被电离的气体，又被称作物质的第四态，即固体→液体→气态→等离子态。与普通气体不同的是，它有一定的电离度，是电离度在0.1%以上的气体，是电的导体，通过电流加热气体或其他加热方式获得高温。等离子体光源有电感耦合等离子炬(ICP)、直流等离子体喷焰(DCP)、微波感生等离子炬(MIP)和电容耦合等离子炬(CCP)。这些光源都有其各自的特点和局限性，目前对ICP的研究与应用最为普遍。

(1)等离子体放电的一般性质和原理

ICP光源的历史可以追溯到一百年以前，但作为原子光谱分析方法的光源和原子化装置实际上始于1961年Reed的研究工作，并于20世纪70年代迅速发展，成为一种新型分析方法。

图8.3 试样在不同形状等离子体中行为比较

a—泪滴状ICP(无中心通道);b—环状ICP(有中心通道)

(3)等离子体放电区域的划分

ICP放电可分为以下几个区域:

感应区(inction region)：这是等离子体的环形外区。高频功率主要通过该区域而耦合到等离子体中，是分析物蒸发→原子化→激发→电离所需能量的供给者。

轴向通道(axial channel)：感应区所环绕的区域为轴向通道(或称分析通道、中心通道)，依其观测高度(感应线圈以上的距离)可分为预热区(preheating zone，PHZ)、初辐射区(initial radiation zone，IRZ)及标准分析区(normal analytical zone，NAZ)。预热区的主要作用是加热气体并使溶剂挥发；初辐射区是分析物蒸发和原子化的主要区域；标准分析区是分析物激发、电离和辐射的主要区域，是最合适的观测区，其位置视分析物及谱线性质而定，并与耦合至等离子体的功率及内气流量等有关，一般在感应线圈以上10～15mm。

尾焰(tail plume)：在更高的观测高度，由于中心和周围区域之间的气体混合，等离子体的环状结构消失，形成尾焰。

(4)试样在等离子体光源中发生的复杂过程及谱线强度

试样在进入等离子体光源后会经历蒸发过程、离解或原子化过程、激发过程、电离过程、扩散迁移过程、辐射跃迁过程、自吸收过程，若用溶液气溶胶进样，还有雾化过程和溶剂挥发过程。由此可见，分析物在光源中所发生的过程是相当复杂的。对于普通的自由扩散的非封闭型光源(如电弧和火花等)，多数元素的气态原子平均停留时间约为10^-3s，也就是说，如果每秒有1000个原子进入光源，仅有1个原子在其中停留并参加原子化和激发，而999个原子都白白跑掉了。可见，在这些光源中，蒸气的利用率是很低的。对于如ICP这样流动的、非自由扩散型的光源，放电的环状结构和较高的温度，使试样易于导入，并能够有效蒸发。如以载气将试样带入光源，则气体流动引起的质量迁移将起主要的作用，不考虑横向扩散或径向扩散，试样粒子在通道中停留的时间将主要取决于中心载气流的线速度，并与中间的辅助气流流速也有一定的关系。在ICP放电通道中，小的载气流量、低的等离子体温度、高的观测高度和较大的气流截面，将使试样粒子在通道中的停留时间增大。有人曾经估计，试样在Ar-ICP放电加热区中的停留时间约为在N₂O-乙炔火焰中停留时间的4000倍(采用的等离子体温度为8250 K，火焰温度为2800 K)。一般情况下，试样在加热区停留时间平均为4.3ms，而在观测区停留时间平均为1.5ms。在ICP放电高温下，这样长的停留时间对于分析物试样微粒的蒸发一般是足够的，即使对于那些难熔、难挥发的化合物，亦可实现完全挥发。

当试样中某种元素的原子受激发后，由基态E₀激发到E_i，再由高激发态E_i跃迁回较低的激发态E_j时，其谱线强度I_ij与下列因素有关：①与单位体积内被激发到E_i能级的原子数N_i成正比；②与N_i个受激原子向低能级E_j跃迁时的概率成正比；③与能级i、j的能量差值E_i-E_j(即hν_ij)成正比。

谱线有其自然宽度，相当于两能级宽度之和，存在变宽效应。谱线的形状取决于发射体的原子结构，等离子体的电子密度、温度以及组分。在等离子体中，谱线变宽主要有两种：多普勒(Doppler)变宽，由发射体的随机性热运动所致；斯塔克(Stark)变宽，不均匀强电场及高速运动中的高密度带电离子和电子引起的谱线变宽。

元素的原子在激发态时能辐射出何种波长的光，那么它在基态或低激发态时也能吸收何种波长的光。在以前的电弧或火花光源中，高灵敏线在浓度很高时出现谱线中央部分强度减弱的现象，好像分成了两条谱线，这种现象称为谱线的“自蚀”，轻微者称为“自吸”。在电弧中，包围着弧焰四周的是温度较低的原子蒸气云层，所以当弧焰中心发射出的辐射通过这一段路程时，将有部分被蒸气云层中温度较低的同类原子所吸收。ICP光源中，由于中心通道的存在，自吸现象不严重。

Ⅳ 电感耦合等离子体激发源

激发源即ICP光源，是发射光谱仪中一个极为重要的组成部分，它的作用是给分析试样提供蒸发、原子化或离子化激发的能量，使其发射出特征谱线。电感耦合等离子体装置由射频发生器和等离子体炬管组成。

图8.4 ICP光谱仪结构图

8.2.1.1 射频发生器

射频发生器(也称高频发生器)是ICP的高频供电装置，为等离子体炬的点燃和维持输送稳定的高频电能。

ICP使用的射频发生器主要有两种基本类型：一种是自激式发生器；另一种是它激式发生器，也称晶体控制型发生器。射频发生器实际上是一个由并联的电容器和电感器组成的，在所需频率下产生交变电流的振荡器。为使ICP放电稳定，振荡必须是无阻尼的。振荡回路由于电阻的存在，每次振荡总要消耗能量，如果不及时补充能量，振荡将发生衰减。因此，必须不断地、合拍地给振荡回路补充其内阻所消耗的能量。例如，当试样引入等离子体后，其电学特性自然会发生变化，因而也将改变负载线圈的有效阻抗，即阻抗失配。如不对电路重新调谐，等离子体势必不稳定，甚至熄灭。

ICP发生器的频率通常有两种：27.12MHz和40.68MHz(分别是石英振荡器频率6.78MHz的4倍或6倍)，频率稳定性一般优于0.01%。二者之间没有显著的分析性能上的差别。由于40.68MHz的设计一般在较低功率条件下运行，可能长时间使用时有优势。保持等离子体所需的功率，一般为0.75～2.0kW，大多数ICP-MS射频发生器系统的工作功率为1.0～1.8kW，可调，输出功率稳定性小于或等于0.1%。

近年来，RF发生器的基本原理与最初设计没有区别，仅结构变小很多。现在一些新的发生器用固态电子元件取代了当初的真空功率放大管，所以体积明显减小，稳定性和可靠性明显改善，更适合于常规分析。

8.2.1.2 等离子体炬管

ICP炬管是置于负载线圈内的一组石英管，通常由3个石英同心管组成，即外管、中间管和试样注入管。炬管的主要作用是使等离子体放电与负载线圈隔开，以防止短路，并借助通入的外气流带走等离子体的热量和限制等离子体的大小。炬管的材料现在多用石英。试样注入管一般采用石英、氧化铝、铂金以及蓝宝石等制成。当电源接通、高频电流通过线圈时，在石英管内产生交变磁场。等离子体炬管装置示意图如图8.5所示。

图8.5 等离子体炬管装置示意图

炬管有内管固定型和内管可拆卸式两种。可拆卸炬管的优点是比较灵活，可以随时拆卸内管进行清洗，或更换其他类型的内管，例如更换耐HF的氧化铝管。不过，可拆卸式炬管的麻烦之处在于重新安装，其同心度很重要。不过，现在有的炬管设计了定位销式炬管结构，拆卸方便、定位准确。

等离子体方法的分析性能，如灵敏度、检出限、抗干扰程度等都与气流，尤其是与载气流量、正向功率和观测高度密切相关。等离子体点火的难易、稳定性和抗过热性都与气体速度有关，而气体速度又取决于炬管的尺寸和同心度，所以实际操作中等离子体的最佳化很重要。

8.2.1.3 电感耦合炬管的气路系统

ICP-AES分析中，通入炬管的工作气体多为氩气，特殊情况下可用氮气或氮氩混合气。其主要作用是提供维持等离子体、冷却、保护炬管和输送试样等。工作气体分为以下三种。

(1)等离子体气

早期曾称为冷却气，这是等离子体的外气流，由切线方向引入外管，用于维持和稳定等离子体，并防止等离子体的高温将石英管烧坏，因等离子体在最大涡流流动区温度可达9000～10000 K。这种热绝缘是通过一种旋涡稳定技术实现的，它使用一种氩气流以切线方向引入，并螺旋上升，把等离子体沿径向“箍缩”在石英管的中心，并使外石英管的内壁冷却，等离子体即稳定在靠近同心管的出口端。其流量视炬管结构而定，一般为10～20L/min，约占工作气体总流量的80%～90%。

(2)辅助气

早期称为等离子气，这是等离子体的中层气流，通入中心管与中层管之间，主要用于“点燃”等离子体(有时亦称“点燃气”)及保护中心注入管。其流量一般为1L/min左右。有时在试样导入后即可截止，由于中气流等离子体的生成和稳定并非完全必要，故这种“三气流”系统的术语，不适合于不用中气流的“双气流”系统。因此，改用“等离子气”代替原来的“冷却气”，“辅助气”代替原来的“等离子气”，使之同时适用于双气流及三气流系统。辅助气还可以“托起”等离子炬，通过调节该气流达到改变观察高度的目的。

(3)载气

亦称为注入气或雾化气，这是等离子体的内管气流，由雾化器进入，将样品溶液转化为粒径只有1～10μm的气溶胶。载气将样品气溶胶引入ICP，并对雾化器、雾化室、中心管起到清洗作用。其流量大小对等离子体中观测区谱线强度的影响最大，流量一般为0.5～1.5L/min。在采用孔径较小的喷射管时，这样的流速足以产生高速的喷射气流穿透等离子体的中心，形成一个较冷的通路，该通路被称为中心通道或轴向通道。

以上三种气体均使用惰性气体氩气，因为氩气具有以下特性：①容易纯化，一般要求使用99.99%以上的氩气；②性质稳定，不与试样组分形成难解离的稳定化合物，也不会因为分子解离而损失能量；③有良好的激发性能；④本身的光谱简单。要求由装有二级减压阀的气瓶供气，采用精密控制气流的质量流控制器和流量计。

8.2.1.4 冷却和气体控制系统

冷却系统包括排风系统和循环水系统，其功能主要是有效地排出仪器内部的热量。循环水温度和排风口温度应控制在仪器要求范围内。气体控制系统须稳定正常地运行，氩气的纯度应不小于99.99%。

Ⅵ 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法

一、内容概述

固体微区分析技术由于具有测定样品中元素三维变化的能力，在分析科学的发展中一直是处于令人关注的前沿领域。自从Gray等结合等离子体质谱和激光剥蚀进样方法，于1985 年开创了激光剥蚀电感耦合等离子体（LA-ICP-MS：laser ablation inctively coupled plasma mass spectrometry）联用的固体原位微区分析新技术以来，LA-ICP-MS以其原位（insitu）、实时（realtime）、快速、高灵敏度、较好的空间分辨率、多元素同时测定并可提供同位素比值信息等多项技术优势，得到了广泛的认同，特别是在岩石矿物等样品的微区痕量元素分析中有很大的优势。20 多年以来，LA-ICP-MS不仅在地球科学微区技术发展中发挥了重要作用，而且延伸到材料科学、环境科学、海洋科学、生命科学等领域。近年来，高分辨质谱仪技术的普遍应用，激光器从红外向紫外、从纳秒向飞秒的性能方面的不断提升，剥蚀、进样技术的不断改进，使元素检出限、分析精密度等得到很大改善；多接收质谱仪技术的应用使LA-ICP-MS不仅可以进行U-Pb同位素定年，而且可以进行Lu-Hf等同位素体系的分析，分析精密度可与TIMS技术媲美。目前，分馏效应、基体效应和校正研究、包裹体等特殊样品分析、标准物质研制、绿色整体分析技术研究是该技术的热点问题。

二、应用范围及应用实例

（一）纳秒和飞秒激光器基体效应研究

Pécheyran等（2007）通过红外飞秒激光与紫外266 纳秒激光剥蚀 NIST 600 进行检测线定值的结果表明，红外飞秒激光剥蚀时，质谱的检测限比纳秒激光剥蚀时降低了一个数量级。同时，他们通过不同激光剥蚀测定了NIST 612中的41个元素，飞秒激光剥蚀的41个元素的分馏因子都接近1，显示可忽略分馏效应；而纳秒激光对一些元素如Pb、Au、In、Cs 等明显大于1，存在严重的分馏效应。

（二）同位素测年

Poitrasson等（2000）用LA-ICPMS、EMPA、BSE及Raman光谱分析研究了3 个地区3种不同类型热液改造独居石颗粒的年龄及几个不同程度的改造过程。研究包括阴离子交代、随化学组成的变化而产生的由单斜到六方的结构转换、Th的流失、独居石的溶解与凝聚以及在溶解过程中其他矿物的交代等的绿泥石化、绢云母化和云英岩化改造过程。Ballard等（2001）用SHRIMP验证了ELA-ICP-MS测得含矿长英质斑岩的U-Pb同位素年龄结果，结合分析已有的Re-Os及Ar-Ar结果，认为智利北部丘基卡尔塔（Chuquicamata）斑岩铜矿经历了两期火成事件和两期热液活动。

（三）包裹体研究

Halter 等（2002）通过剥蚀整个熔融包裹体及其周围的主岩，将分析信号去卷积后分为主岩和包裹体的信号，量化 ICP-MS相对灵敏度系数的变化和包裹体相对剥蚀速率的变化，使未暴露和化学成分复杂的包裹体分析变得可行。但该方法需要内标来测定主矿和熔融包裹体混合激光剥蚀信号的相对贡献。Zajacz 等在2007 年优化了该方法，避免了使用已知内标元素，而是通过共沉淀矿物相测量熔融包裹体，并模拟下降的一条液相线估计正确的整体组分（correct bulk composition）以得到量化结果。由于许多岩石受岩浆混合的影响，共沉淀主要在含有大量包裹体的共生纹理中（textures）巩固（confirmed），所以该方法在矿物相共沉淀中应用非常成功。由于准分子193纳米激光短波长、均化的激光束非常适合单个石英流体包裹体剥蚀，其与四极杆 ICP-MS 结合是目前最有前途的分析流体包裹体的技术。

三、资料来源

Ballard J R，Palin J M，Williams I S et al.2001.Two ages of porphyry intrusion resolved for the super⁃giant Chuquicamata copper deposit of northern Chile by ELA⁃ICP⁃MS and SHRIMP.Geology，29（5）：383～386

Halter W E，Pettke T，Heinrich C A et al.2002.Major to trace element analysis of melt inclusions by laser⁃ablation ICP⁃MS：methods of quantification.Chemical Geology，183（1/4）：63～86

Pécheyran C，Cany S，Chabassier P et al.2007.High repetition rate and low energy femtosecond laser ablation coupled to ICPMS detection：a new analytical approach for trace element determination in solid samples.Journal of Physics：Conference Series，59（1）：112～117

Poitrasson F，Chenery S，Shepherd T J.2000.Electron microprobe and LA⁃ICP⁃MS study of monazite hydrothermal alteration：Implications for U⁃Th⁃Pb geochronology and nuclear ceramics.Geochimica et Cosmochimica Acta，2000，64：3283～3297

Zajacz Z，Halter W.2007.LA⁃ICPMS analyses of silicate melt inclusions in co⁃precipitated minerals：Quantification，data analysis and miner⁃al/melt partitioning.Geochimica et Cosmochimica Acta，71（4）：1021～1040

Ⅶ 电感耦合等离子体光谱仪是什么原理，在检测时有什么优点

原理介绍：高频振荡器发生的高频电流，经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端，铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氩气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道，环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁，防止管壁受热熔化的作用。工作气体(Ar)则由中部的石英管道引入，开始工作时启动高压放电装置让工作气体发生电离，被电离的气体经过环绕石英管顶部的高频感应圈时，线圈产生的巨大热能和交变磁场，使电离气体的电子、离子和处于基态的氖原子发生反复猛烈的碰撞，各种粒子的高速运动，导致气体完全电离形成一个类似线圈状的等离子体炬区面，此处温度高达6000一10000摄氏度。样品经处理制成溶液后，由超雾化装置变成全溶胶由底部导入管内，经轴心的石英管从喷咀喷入等离子体炬内。样品气溶胶进入等离子体焰时，绝大部分立即分解成激发态的原子、离子状态。当这些激发态的粒子回收到稳定的基态时要放出一定的能量(表现为一定波长的光谱)，测定每种元素特有的谱线和强度，和标准溶液相比，就可以知道样品中所含元素的种类和含量。
应用优点：
一．材料类
1．难熔合金的元素含量分析；
2、高纯有色金属及其合金的元素微量分析；
3、金属材料、电源材料、贵金属研究和生产用微量元素分析
4．电子、通讯材料及其包装材料中的有害物质元素含量检测
5．医疗器械及其包装材料中的有害物质及化学成分
二．环境与安全类
1．食具容器、包装材料的成分分析及有害物质分析
2．应用于食品卫生重金属含量测试和食品检测分析
3．水（污水、饮用水、矿泉水等）中的：有害重金属及阴离子等
4．玩具、儿童用品及其包装材料中的：有害重金属（锑、砷、钡、铬、镉、铅、汞等）
5．肥料中的重金属及微量元素：砷、汞、铅、隔、铬、锰、铁等
6．化妆品、洗涤剂及其包装材料中的有害成分：砷、汞、铅等
三．医药食品类
1．中西药及其包装材料中的有害重金属、微量元素、有效成分等
2. 生物组织中的重金属、微量元素及有机成分
3．保健品及生物制品中的有害成分、营养成分等
4．食品及其包装材料中的有害物质、重金属、微量元素及其它营养成分
四、地质、矿产、农业、大学
1、地质、土壤的元素含量检测；用于地质、土壤的研究所、环境监测站；
2、矿物质的定性和定量分析；
3、农业研究所或大学用的材料元素含量检测、地质土壤元素检测、环境样品检测分析；
五、任何高纯物质检测
1、氯碱化工的高纯烧碱及其原材料的微量元素分析；
2、高纯药品中间体

Ⅷ 电感耦合等离子体光源优点有哪些

电感耦合等离子体光源的优点有以下方面：
1)检出限低：许多元素可达到1ug/L的检出限
2)测量的动态范围宽：5-6个数量级
3)准确度好
4)基体效应小：ICP是一种具有6000-7000K的高温激发光源，样品又经过化学处理，分析用的标准系列很易于配制成与样品溶液在酸度、基体成分、总盐度等各种性质十分相似的溶液。同时，光源能量密度高，特殊的激发环境——通道效应和激发机理，使ICP光源具有基体效应小的突出优点。
5)精密度高：RSD~0.5%
6)曝光时间短：一般只需10-30秒

Ⅸ 直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别

直流等离子体光源：内电极放电，因存在电极材料损耗问题，寿命短。
电感耦合等离子体 ：外电极放电，无电极材料损耗，寿命长。