等离子去层仪

『壹』 光刻机和刻蚀机的区别

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分。

“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆（或者叫硅片）上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。

“刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体器件及其电路。

(1)等离子去层仪扩展阅读：

光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动

1.手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了；

2.半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐；

3.自动： 指的是 从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

『贰』 什么叫等离子清洗

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪（Plasma surface treatment）,是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。 等离子清洗机(Plasma Cleaner)
1.等离子体基础知识： 等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 2.等离子清洗原理：[1] 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四中状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。 等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性质的具体应用： 等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。 等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。 等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。 等离子体清洗还具有以下几个特点：容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。 3.等离子清洗机在各行业的应用： （1）等离子技术在橡塑行业产品上的作用机理 我们在工业应用中发现一些橡胶塑料件在进行表面连接的时候会出现粘接困难的问题，这是因为聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是没有极性的，这些材料在未经过表面处理的状态下进行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至无法进行。 有些工艺用一些化学药剂对这些橡塑表面进行处理，这样能改变材料的粘接效果，但这种方法不易掌握，化学药剂本身具有毒性，操作非常麻烦，成本也较高，而且化学药剂对橡塑材料原有的优良性能也有影响。 利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以最大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作，如图2所示。应用等离子技术对橡塑表面处理，其操作简单，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。 （2）等离子技术在橡胶、塑料行业的应用 等离子表面处理技术的应用领域包括橡胶、复合材料、玻璃、布料、金属等，涉及各行各业，这篇文章中我们主要介绍其在橡胶、塑料领域一些行业的具体应用。 （3）等离子技术在汽车行业的应用 3.1.1 点火线圈 随着汽车行业的发展，其各方面性能要求越来越高。点火线圈有提升动力，最明显的效果是提升行驶时的中低速扭距；消除积碳，更好的保护发动机，延长发动机的寿命；减少或消除发动机的共振；燃油充分燃烧，减少排放等诸多功能。要使点火线圈充分发挥它的作用，其质量、可靠度、使用寿命等要求必须达到标准，但是目前的点火线圈生产工艺尚存在很大的问题——点火线圈骨架外浇注环氧树脂后，由于骨架在出模具前表面含大量的挥发性油污，导致骨架与环氧树脂结合面粘合不牢靠，成品使用中，点火瞬间温度升高，会在结合面微小的缝隙中产生气泡，损坏点火线圈，严重的还会发生爆炸现象。 点火线圈骨架使用等离子处理后，不仅可去除表面的难挥发性油污，而且可大大提高骨架表面活性，即能提高骨架与环氧树脂的粘合强度，避免产生气泡，同时可提高绕线后漆包线与骨架触点的焊接强度。这样一来点火线圈在生产过程中各方面性能得到明显改善，提高了可靠度和使用寿命。 3.1.2发动机油封片 发动机曲轴油封起防止发动机机油从发动机中渗漏和防止异物进入发动机内部的作用。曲轴油封是发动机的零件之一,在高温下与机油相接触，因此需要采用耐热性和耐油性优良的材料。目前高档轿车普遍使用聚四氟乙烯材料，随着汽车性能要求的不断提高，越来越多的厂家也已逐步使用该材料，其应用前景非常广泛。 聚四氟乙烯材料各方面性能优异，耐高温，耐腐蚀、不粘、自润滑、优良的介电性能、很低的摩擦系数，但未经处理的PTFE材料表面活性差，其一端与金属之间的粘接非常困难，产品无法满足质量要求。为了解决这一技术上的难题，就要设法改变PTFE（聚四氟乙烯）与金属粘接的表面性能，而不能影响另一面的性能。工业中用莱钠溶液处理虽然能在一定程度上提高粘接效果，但是却改变了原有PTFE的性能。经实验证明，用等离子体轰击需粘接的PTFE表面后，其表面活性明显增强，与金属之间的粘接牢固可靠，满足了工艺的要求，而另一面保持原有的性能，其应用也越来越被广泛认同。 3.1.3汽车行业其他方面的应用 随着经济的发展，消费者对汽车的性能要求越来越高，如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求，各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进，如进行 （1）仪表板在柔性聚氨酯(PU)涂覆前处理 （2）控制面板在粘合前处理 （3）内部PP零件植缛前处理 （4）汽车门窗密封件的处理 以前未经任何处理仪表盘或控制面板涂覆效果非常差，不耐磨，容易掉漆等现象，用化学方法处理虽然能改变涂覆的效果，但同时也改变了仪表盘等基材的性能，使得其强度有所降低。目前很多厂家已经使用等离子技术来处理这些基材，通过等离子体轰击，材料表面微观层面活性增强，能明显改善涂覆效果。根据实验得知，用等离子清洗机处理不同材料需要选用不同工艺参数，才能达到更好的活化效果。 （4）等离子技术在电子行业的应用 4.2.1硬盘塑料件 科学的发展，技术的不断进步，电脑硬盘的各项性能也不断提高，其容量越来越大，碟片数量随之增多，转速也高达7200转/分，这对硬盘结构的要求也越来越高，硬盘内部部件之间连接效果直接影响硬盘的稳定性、工作可靠性、使用寿命，这些因素直接关系到数据的安全性。 为了确保硬盘的质量，知名硬盘生产厂家对内部塑料件在粘接前均进行各种处理，目前应用较多的是等离子处理技术，使用该技术能有效清洁塑料件表面油污，并能增加其表面活性，即能提高硬盘部件的粘接效果。实验表明，硬盘中使用等离子处理过的塑料件在使用过程中持续稳定运行时间显著增加，可靠性及抗碰撞性能有明显的改善。图示为某公司硬盘塑料件在等离子清洗机中进行处理的照片。 4.2.2耳机听筒 耳机中的线圈在信号电流的驱动下带动振膜不停的振动，线圈和振膜以及振膜与耳机壳体之间的粘接效果直接影响耳机的声音效果和使用寿命，如果它们之间出现脱落就会产生破音，严重影响耳机的音效和寿命。 振膜的厚度非常薄，要提高其粘接效果，使用化学方法处理，直接影响振膜的材质，从而影响音效。众多厂家正准备使用新技术来对振膜进行处理，等离子处理就是其中之一，该技术能有效提高粘接效果，满足需求，且不改变振膜的材质。经实验，用等离子清洗机处理生产的耳机，各部分之间的粘接效果明显改善，在长时间高音测试下也不会有破音等现象发生，使用寿命也有很大的提高。 4.2.3手机外壳 手机的种类繁多，外观更是多彩多样，其颜色鲜艳，Logo醒目，但使用手机的人都知道，手机在使用一段时间后，其外壳容易掉漆，甚至Logo也变得模糊不清，严重影响手机的外观形象。 知名手机品牌厂家为了寻找解决这些问题的方法，曾使用化学药剂对手机塑料外壳进行处理，其印刷粘接的效果有所改善，但这是降低手机外壳的硬度为代价，为了寻求更好的解决方案，等离子技术脱颖而出。等离子表面处理技术不仅可以清洗外壳在注塑时留下的油污，更能最大程度的活化塑料外壳表面，增强其印刷、涂覆等粘接效果，使得外壳上涂层与基体之间非常牢固地连接，涂覆效果非常均匀，外观更加亮丽，并且耐磨性大大增强，长时间使用也不会出现磨漆现象。 （5）等离子技术在国防行业的应用 5.3.1航空航天电连接器 电连接器中的绝缘体与封线体之间的粘接效果一直影响着国产电连接器的发展，尤其在航空航天中对电连接器的要求更苛刻，未经表面处理的绝缘体与封线体之间的粘接效果非常差，即使使用专用配方的胶，其粘接效果也达不到要求；另外，如果绝缘体和封线体之间粘接不紧密，就可能会产生漏电，使得电连接器的耐压值提不上去。 目前国内指定生产航空电连接器的厂家，经过技术研究攻关，正逐步应用推广等离子清洗技术清洗连接件表面，通过等离子清洗，不仅能去除表面油污，而且可增强其表面活性，这样在粘接时，在连接件上涂胶非常容易且非常的均匀，使得粘接效果明显改善。经国内多个生产大厂使用测试，用等离子处理后的电连接器，其抗拉能力成数倍增加，耐压值有显著提高。 5.3.2凯夫拉处理 凯夫拉材料是一种芳纶复合材料，这种新型材料密度低、强度高、韧性好、耐高温、易于加工和成型，而受到人们的重视。由于“凯夫拉”材料坚韧耐磨、刚柔相济，具有刀抢不入的特殊本领，在军事上被称之为“装甲卫士”。 凯夫拉成型后需要与其他部件进行粘接，但该材料是疏水材料，不易涂胶，要获得好的粘接效果需要对其进行表面处理，目前主要运用等离子对其进行表面活化处理。处理过的凯夫拉表面活性增强，粘接效果有明显的改善，通过等离子处理工艺参数的不断优化，其效果会进一步提高，应用的范围也越来越广。 （6）等离子技术在医疗行业的应用 6.4.1静脉输液器 输液器末端输液针在使用过程中，拔出时针座与针管之间会出现脱离现象，一旦脱离，血液会随针管流出，如不及时正确处理，对病人会造成严重威胁。为了确保这类事故的发生，对针座进行表面处理是非常必要的。针座孔非常小，普通方法难处理，而等离子体是一种离子状态的气体，对微小的孔也可以有效处理。应用等离子对其进行表面活化处理，可改善表面活性，提高其与针管的粘接强度，以确保它们之间不会脱离。下图为针座在等离子清洗机中进行表面清洗活化处理. 6.4.2导尿管的处理 导尿管给需要留置导尿的患者带来了福音，在临床上的应用越来越广，但随着其应用的增多，导尿管拔除困难的情况也越来越常见。特别是长期留置的导尿管，有时由于橡胶的老化会造成气囊管腔的阻塞，强行拔除时可能会引起严重的并发症。为了防止硅橡胶与人体接触表面的老化，需要对其表面进行氧等离子处理。用扫描电子显微镜（SEM）、红外光谱（FTIR－ATR）和表面接触角研究天然胶乳导尿管经氧等离子体处理前后的表面结构、性能和化学成分的变化，结果表明用氧等离子体处理后的导尿管表面变滑，表面接触角由84°减少至67°，表面无有害基团产生，说明氧等离子体处理是一种有效的表面处理方法。 另外，可用等离子处理硅橡胶以增加其表面活性，然后在表面涂度一层不易老化的疏水材料，其效果也非常好。 （7）等离子技术在纺织纤维行业的应用 无纺布的优越性能使其应用范围非常广泛，在医疗卫生、家庭装饰、服装、工业、农业中均有应用。根据不同需要，无纺布在生产制作过程中要在表面进行阻燃处理、烧毛处理、泼水处理、止滑处理、抗静电处理、涂层处理、抗菌防臭处理、印花处理、无纺布与各种纺织品的针刺复合处理，以及无纺布与各种材料（塑料、胶膜、纺织品等）粘合等，为了达到非常好的印花、粘合等效果，需要对无纺布基体进行表面处理。等离子卷筒型清洗机是专门用于无纺布电缆等细长件的表面处理，该机处理效果好、效率高，适合大批量生产加工。 4、等离子技术应用展望 等离子技术在橡塑行业的应用已非常成熟，其相关产值逐年增加，国外市场比国内市场产值高，但国内可发展空间大，应用前景诱人。 经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求也越来越高，等离子技术随之逐步进入生活消费品生产行业中；另外，科技的不断发展，各种技术问题的不断提出，新材料的不断涌现，越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性，并投入大量资金进行技术攻关，等离子技术在其中发挥了非常大的作用。我们深信等离子技术应用范围会越来越广；技术的成熟，成本的降低，其应用会更加普及.

『叁』 现在比较火的几种仪器Leim等离子臭氧仪可以做什么

1、等离子美容仪可实现美白嫩肤、清洁、补水等多重的美肤效果，是求美者很受欢迎的嫩肤好方法。

2、采用的是物理去角质及老化细胞的方式，整个治疗过程更温和，疗效明显且没有副作用。

3、等离子美容仪可以有效地提升毛孔的吸水能力，能够减缓表皮层的干性细纹，让肌肤获得更为通透的补水效果。

『肆』 什么是等离子清洗机求详细介绍

等离子清洗机是什么？
等离子清洗机是清洗行业里面的高级设备，因为有“清洗”两字，对于第一次和等离子清洗机接触的人，很容易就联想到洗米洗菜洗衣服。为了让这些小白明白等离子清洗是什么，写一篇文章给这些小白普及一下等离子清洗机的入门常识。
很多人问的比较多的问题是，等离子清洗机可以清洗什么，是不是什么都能够洗掉，甚至说清洗产品的时候要不要加洗衣粉，清洗剂什么的。比如懂一点的会问等离子清洗机和超声波清洗机有什么区别，对于这些刚接触等离子清洗机的人们，就必要给这些讲解一下
等离子清洗机，又名plasma清洗机，等离子表面处理机设备。光从名称上来看，清洗并不是清洗，而是处理和反应。从机理上看：等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。
等离子清洗机不用加什么洗衣粉清洗剂之类的玩意，等离子清洗机属于干洗设备，需要加气体。
我们的工作气体，经常用到氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、甲烷（CF4）等。在等离子清洗机过程中很容易对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等进行处理。当然这样以来让我们很容易联想到：去除零件上的油污，去除手表上的抛光膏，去除线路板上的胶渣，去除DVD上的水纹等等。不过去除油污除锈这些工作通常用的是超声波清洗机，超声波清洗机用的是水洗设备，水里面会加清洗剂，去除不同的油污所需要添加的清洗剂不相同。这个根据实际情况去配比。如果是去除线路板上面的胶渣，就需要用到等离子蚀刻机，这个设备有一定的技术含量，一般的小厂还做不出来。
金徕等离子清洗机的作用实际上不是清洗油污，而是对物体的表面进行改性，提升物体表面的粘接力，好多材料如玻璃、硅胶、塑料等高分子材料，如果直接喷涂电镀、粘接这些操作效果非常差，如果使用等离子对物体的表面清洗一遍，对这些物体的表面做一个改性处理，其粘接力大不相同。
“洗表面“才是等离子清洗机技术的核心，这一核心也是现在众多企业之所以选择 等离子清洗机的重点。”洗表面“跟电浆机和等离子表面处理设备这两个名字密切相联。简单的来说清洗表面就是在被处理材料表面打出无数个肉眼看不到的小孔，同时在表面形成一个新的氧化层薄膜。这样以来大大增加了被处理材料的表面积，间接性的增加了材料表面的粘附性、相容性、浸润性、扩散性等等。而这些性能又恰当的应用在手机，电视，微电子，半导体，医疗，航空，汽车等各行各业中，为众多企业解决多年未曾解决的难题。

『伍』 等离子清洗机应用领域及作用

等离子清洗机广泛用于LED,LCD， LCM，手机配件，笔记本电脑按键及外壳，光学元器件，光学镜片，电子芯片，集成电路，五金，精密零件，塑胶制品，生物材料，医疗器皿，晶圆等的表面处理。 经过等离子处理的物件表面活化效果最好，物件的水浸润效果也是最佳的。如微晶玻璃，光学镜片镀腊粘接前等离子处理，能有效提升产品品质。

『陆』 plasma 清洗后为什么c,o会增加

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪（plasma surface treatment）,是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。 等离子清洗机(plasma cleaner)

1.等离子体基础知识： 等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

2.等离子清洗原理：[1] 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四中状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。 等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性 .....

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『柒』 等离子激光祛疤有用吗

磕磕碰碰生活中谁都有过。明显部位出现疤痕会使我们美观受到影响，随着医学技术的不断发展，如今改善疤痕的方法有很多。常听说通过激光去疤，能有效去除面部的疤痕。 激光去面部疤痕好吗? 湖南省中医药研究院附属医院疤痕治疗中心祛疤专家指出，激光祛疤的治疗原理引是利用不同波长的彩光就能有选择地进行治疗，分别作用于不同目标组织使皮肤不受损伤，光射入皮下，将颗粒变成粉末，使它们之间跳高加大，然后被巨噬细胞吸收和清除，如果疤痕组织颜色较深，可以重复多次，不断变换光的波长。 激光去疤痕缺点： 1、激光去除疤痕的方法只能去除突起的疤痕，不可能填平凹下的疤痕地方。 2、激光使用不当，还会产生新疤痕或出现色素不均的现象。 此外激光并不是能治疗所有疤痕，尤其是在夏季太阳强烈的天气，防紫外线不能防的彻底，使得皮肤色沉的风险大大增加。激光消除疤痕仅适用于比较浅的疤痕的矫正。 因此，去除面部疤痕湖南省中医药研究院附属医院疤痕科采用全新的非手术祛疤仪器--色列飞顿Plasma等离子术，通过微等离子打破瘢痕处混乱的胶原排列，促进深部胶原层的增生和重新列，且在对皮肤产生热作用时，不气化组织，完整保留分离的表皮，利用它作为天然的敷料，从而降低治疗风险，更好的抚平疤痕。 Plasma等离子诱导消融术作用原理 运用进口的色列飞顿Plasma射频仪器，可非常干净、界限清楚的祛除组织而不引起机械或热力学的损伤。而等离子射频激发的直接指向皮肤的氮(N2) 气产生，等离子在皮肤表面的上方产生极高的非常表浅、局限的温度，其目的就是重构皮肤表面，使肌肤胶原蛋白自体再生，实现肌肤的自然紧致和提升。 Plasma等离子诱导消融术的优势 1、大大降低色沉风险 2、具有很强的胶原刺激和胶原重塑作用 3、生物敷料作用，有效保护创口 4、深层加热皮肤，从而有效紧致肌肤，改善肤质

『捌』 表面等离子共振的表面等离子共振仪器结构及工作原理

表面等离子共振仪核心部件包括光学系统、传感器芯片、液体处理系统三个主要部分，其他的组成部分包括LED状态指示器及温度控制系统等。 传感器的芯片是其最为核心的部件。在SPR技术中必须首先有一个生物分子偶联在传感片上，然后用它去捕获可与之进行特异反应的生物分子。
传感芯片又分为三个主要组成部分，分别是光波导耦合器件、金属膜以及分子敏感膜。 任何一对亲和分子，一个（靶分子）被键合在生物传感器表面，另一个（分析物）被置于溶液中。当含有分析物的溶液流经靶分子键合的生物传感器表面时，亲和性复合物生成。
SensiQ配备双通道流动注射分析式微射流系统，内有85nL流动池。SensiQ使用一次性的SPR生物传感器，装卸简便。生物传感器表面包被有单层的羧基化寡聚环氧乙烷（Carboxylated Oligoethyleneoxide）基质，可键合多种生物分子，并有效地阻止非特异性结合及变性。靶生物分子的这种既被键合在固相生物传感器表面，又存在于液相中的方式，增进了两种亲和分子间的接触性，同时避免了由于人为因素所造成的动力学分析的复杂化。
SensiQ备有多种键合方案用于改进实验设计，以支持生物分子的附着。最常用的偶联方式是用EDC/NHS进行胺偶联。其它键合方式，例如顺丁烯二酰亚胺-硫醇（Maleimide-thiol），还原胺化，酰肼-醛（Hydrazide-aldehyde），亲和力捕获等，亦可使用。SensiQ双通道检测中的一个通道可用于生成适当的参照曲线。当表面化学物固定好以后，加入最多250 μl的样品，缓冲液流经生物传感器表面时产生稳定的基线。样品注入和计时通过自动化控制完成。通过实验设置向导功能，用户可记录多次注射周期，并具备高重复性。

『玖』 电感耦合等离子体质谱仪的维护和保养

9.3.6.1 进样系统(蠕动泵、雾化器、雾室、炬管)

试样引入蠕动泵管的好坏直接影响信号的稳定性，所以应经常检查、定期更换。建议一星期更换一次(工作时间大约为40 h)。排废液管使用期限可能长一些，也必须经常检查，以防排废不畅，引起雾室内废液聚集，影响信号并最终导致等离子体熄火。同时，如果蠕动泵管老化破裂，酸溶液会将其腐蚀。仪器运行期间可以观察进样管和排废管内的气泡以判断进出是否正常。如果喷入高浓度的有机溶剂，应该换成有机溶剂专用泵管。分析完毕，切记要松开泵管。

雾化器和雾化室应定期清洗。注意同心气动雾化器最好不要采用超声波清洗或放在玻璃烧杯中煮沸清洗，以免损坏雾化器内的注入管。交叉气动雾化器可以采用超声波清洗，清洗液可根据情况采用一般清洗玻璃器皿的洗液，或一定浓度的热王水或硝酸、盐酸浸泡清洗，最后用去离子水充分洗净。注意不要让雾室的“O”形密封环接触到酸液。如雾化室内壁出现挂水珠现象，一般可连续1min喷入1%的氢氟酸，但刚喷完后不能立刻分析硼、硅等元素。同心雾化器容易出现堵塞现象，仪器运行期间注意观察内标元素的信号，如信号明显降低，则可能是漏气或雾化器损坏。

避免雾化器堵塞的途径有：①在氩气管路中安装一个过滤装置，在线过滤氩气瓶或气路中可能存在的颗粒物；②过滤有悬浮物的试样溶液；③清洗雾化器，可用3%～5%的王水在线清洗。

炬管也应定期清洗，如炬管是可拆卸的，可将内管取下，用热王水浸泡或煮沸，最后用去离子水充分清洗，炬管洗净后可自然晾干或用吹风机吹干后使用。清洗时间可根据洁净程度而定。如炬管内管的嘴部明显烧蚀，则应该更换，否则钠和其他一些元素的背景值会增大。可采用放大镜检查雾化器的内管出口处是否损坏，如发现任何细小的损坏，都必须更换，否则影响试样雾化效率和信号的稳定性。

9.3.6.2 接口(采样锥和截取锥)

采样锥和截取锥的条件影响信号的灵敏度和背景水平。注意尽量不要将高酸度或高盐度试样溶液引入等离子体，要保证锥基座和水冷板之间的热接触良好。若想延长锥的寿命，必须小心选择酸的类型和酸度。如果锥的表面出现凹痕或不光滑，则易于产生氧化物粒子，所以接口锥必须定期清洗，清洗周期取决于运行时间以及分析试样的含盐量程度。监测第一级真空可得知锥孔情况，如果工作量较大，最好每日检查清洗。

采样锥和截取锥的清洗方法有以下几种：①采用超声波在大约5%的洗涤液中清洗15min，然后再用去离子水超声清洗15min；②采样锥的正反表面都应使用专用的金属抛光细研磨粉与去离子水混合制成的糊剂，用一块软布清洗，再用水冲洗，然后在HNO₃(2∶98)中超声清洗2min，用去离子水充分洗净，最后用丙酮或空气使其干燥。如果锥明显损坏，则必须更换。应避免使用任何粗糙的研磨材料或稀酸来清洗锥，因为它们将在采样锥表面产生凹窝和划痕。锥表面的变形将引起采样过程中等离子体气流的散射和导致高水平干扰离子的生成。另外，一些物质更容易沉积在采样锥表面。除了锥孔本身以外，应清洗的最重要的区域是靠近锥孔处的锥的内表面，这也是最难清洗的区域，而恰恰是在该区域中，被采样的等离子体通过锥孔后形成自由喷射。因此，锥表面必须尽可能保持干净和平滑，使气流不致散射。

9.3.6.3 离子透镜系统

离子透镜系统应由专业维修人员维修检查。如果仪器运行负荷很大，最好半年查一次，如有需要，则需进行清洗。提取透镜最好每月检查并清洗。

9.3.6.4 检测器

电子倍增器的使用寿命通常是有限的，它取决于总的累积放电，即输入离子增益。超过这个寿命，内表涂层耗尽，电子倍增器则需更换。所以，尽管新型检测器可以测量高浓度信号，但为了保护检测器的寿命，实际应用中要对高浓度试样尽可能采取稀释或其他方法，以尽量避免电子倍增器长时间测量高强度信号。

9.3.6.5 真空系统

前级真空系统的维护包括定期观察油面、定期更换泵油等。机械泵的泵油一般由专业维修人员视情况更换。一般是观察泵油的颜色，如为深黄色则需更换。需经常检查涡轮分子泵的冷却系统。此外，正确的开机、停机步骤，避免误操作，也是保证良好真空的必要条件。尽量维持真空系统连续运行，减少频繁停机可减少发生故障的频率。除非长期停运，否则应保持仪器的真空状态。

9.3.6.6 冷却水系统

冷却水系统非常重要，一般采用去离子水，每日检查冷却水进出是否通畅。定期检查液面，定期更换水。

9.3.6.7 环境(温度、湿度、清洁度)

放置仪器的房间最好采用超净实验室设计，保持室内清洁。一般情况下，温度保持在21.5℃左右，湿度为40%～70%。湿度大的季节，必须采用除湿机去湿。对于超纯物质分析以及超痕量元素分析，要求在洁净间处理和分析试样，分析人员必须穿超净服，佩戴帽子、一次性手套和口罩。

9.3.6.8 仪器的定期维护

仪器的正确使用和定期维护是延长其各部件的使用寿命，以及使其分析性能最佳化的重要因素。

『拾』 等离子清洗机是干什么用的它的功能和作用是什么

等离子清洗是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式。达因特等离子清洗的作用主要是：

（1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（2）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（3）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。