① 環氧樹脂膠黏劑如何提高在多晶硅上的附著力
晚上好,提高對多晶硅表面的附著力可以從環氧單體改性和添加劑兩方面考慮。內環氧單體改性可以接容枝對無機硅親和力良好的硅酮,也可以用硅烷偶聯劑來改變環氧交聯與硅晶的表面張力來提高牢固度。添加劑方面可考慮直接在環氧AB膠中添加氟化物來侵蝕多晶硅的方法,酸酐體系用HF,脂肪胺和芳香胺體系用無機氟化鈉或者有機氟的酯類來提高多晶硅表面的粗糙度來增加附著力請酌情參考。如果是濕固化機理的單組份環氧樹脂膠建議用親水的氟化物處理。