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等离子光谱去溶系统

发布时间:2022-02-07 09:33:08

1. 谁知道等离子去胶机的原理

等离子去胶法,去胶气体为氧气。其工作原理是将硅片置于真空反应系统中,通入少量氧气,加1500 V高压,由高频信号发生器产生高频信号,使石英管内形成强的电磁场,使氧气电离,形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧(活泼的原子态氧)可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体,被机械泵抽走,这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。等离子去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保
电介质等离子体刻蚀设备一般使用电容耦合等离子体平行板反应器。在平行电极反应器中,反应离子刻蚀腔体采用了阴极面积小,阳极面积大的不对称设计,被刻蚀物是被置于面积较小的电极上。在射频电源所产生的热运动作用下带负电的自由电子因质量小、运动速度快,很快到达阴极;而正离子则由于质量大,速度慢不能在相同的时间内到达阴极, 从而使阴极附近形成了带负电的鞘层。正离子在鞘层的加速下,垂直轰击硅片表面,加快表面的化学反应及反应生成物的脱离,导致很高的刻蚀速率。离子轰击也使各向异性刻蚀得以实现等离子体去胶的原理和等离子体刻蚀的原理是一致的。不同的是反应气体的种类和等离子体的激发方式。

2. 等离子体发射光谱原理

电感耦合等离子体原子发射光谱仪高频振荡器发生的高频电流,经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端,铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氢气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道,环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁,防止管壁受热熔化的作用。原理介绍编辑高频振荡器发生的高频电流,经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端,铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氩气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道,环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁,防止管壁受热熔化的作用。工作气体(Ar)则由中部的石英管道引入,开始工作时启动高压放电装置让工作气体发生电离,被电离的气体经过环绕石英管顶部的高频感应圈时,线圈产生的巨大热能和交变磁场,使电离气体的电子、离子和处于基态的氖原子发生反复猛烈的碰撞,各种粒子的高速运动,导致气体完全电离形成一个类似线圈状的等离子体炬区面,此处温度高达6000一10000摄氏度。样品经处理制成溶液后,由超雾化装置变成全溶胶由底部导入管内,经轴心的石英管从喷咀喷入等离子体炬内。样品气溶胶进入等离子体焰时,绝大部分立即分解成激发态的原子、离子状态。当这些激发态的粒子回收到稳定的基态时要放出一定的能量(表现为一定波长的光谱),测定每种元素特有的谱线和强度,和标准溶液相比,就可以知道样品中所含元素的种类和含量。

3. 怎样从吸收光谱上观察等离子体吸收

怎样从吸收光谱上观察等离子体吸收
一种利用微波等离子体作为原子化器的原子吸收光谱分析技术。用微量注射器将儿微升样品加到担丝上,先用小电流加热干燥样品,再增大电流加热使样品蒸发。

4. 等离子发射光谱-质谱分析法具有什么优缺点

等离子体发射光谱ICP-OES与等离子体质谱ICP-MS是两种不同的仪器。没有OES-MS联用仪。
ICP-OES灵敏度高低检测限,较宽的动态线性范围和多元素同时分析,用于痕量及部分常量元素定性定量分析,应用的行业范围也较广。
ICP-OES大部份元素的检出限为1—10ppb,一些元素在洁净的试样中也可得到令人注目的亚ppb级的检出限。由于其可以覆盖PPB级至百分含量范围,在一般的实验中运用较多。比如金属材料(不含超纯)、化工等各种行业。

ICP-MS具有元素、同位素、形态分析等定性定量分析能力,检测下限水平优于ICP-OES。
ICP-MS其检出限非常低,溶液的检出限大部份为ppt级,但是对于总的离子量有限制,因此分析基体复杂体系的方法检测限不一定比ICP-OES低。主要在环保/水质/电子材料(尤其是半导体行业)等方面运用较多。
ICP-MS的耐盐量较差,若涉及固体中浓度的检出限,ICP-MS检出限的优点会变差多达50倍,一些普通的轻元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICP-MS中有严重的干扰,也将恶化其检出限。
ICP-MS对于所使用的试剂的纯度、分析用水、实验环境等要求均较高,而且仪器使用也较ICP-OES复杂。
ICP-MS 测量的是离子质谱,提供在3-250amu范围内每一个原子质量单位(amu)的信息,因此,ICP-MS除了元素含量测定外,还可测量同位素。

5. icp等离子体光谱仪是什么

ICP是光谱仪,全称:“等离子体光电直读光谱仪”。 ICP光谱仪是当前光谱分析中最迅速最灵敏的一种仪器。
ICP是光谱仪是将复色光分解为光谱,并进行记录的精密光学仪器。在可见光和紫外光区域,过去常用照相法记录光谱,故也称摄谱仪。在红外区域,一般用光敏或热敏元件逐点记录,故有红外分光计的名称。
现在在各个波段均采用光电接收和记录的方法,比较直接、灵敏,称为“光电记录光谱仪”。为了得到更多的光谱线,可以把被分析物质放在等离子体火焰中激发,在光谱仪中除采用光电接收方法外,还配有专用计算机,计算物质中各元素含量。可以在数秒种内从显示器的荧光屏读出结果。

6. 电感耦合等离子体质谱分析是常见的干扰和消除手段有哪些

关键词:电感耦合等离子体发射光谱法;等离子体发射光光谱仪;应用及领域;化学分析;线性范围;
1 概述
电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)是以等离子体原子发射光谱仪为手段的分析方法,由于其具有检出限低、准确度高、线性范围宽且多种元素同时测定等优点,因此,与其它分析技术如原子吸收光谱、X-射线荧光光谱等方法相比,显示了较强的竞争力。在国外,ICP-AES法已迅速发展为一种极为普遍、适用范围广的常规分析方法,并已广泛应用于各行业,进行多种样品、70多种元素的测定,目前也已在我国高端分析测试领域广泛应用
2 电感耦合等离子体原子发射光谱法简介
2.1 电感耦合等离子体原子发射光谱法的工作原理【1】
感耦等离子体原子发射光谱分析是以射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上,并将等离子炬管置于该线圈中心,因而在炬管中产生高频电磁场,用微电火花引燃,使通入炬管中的氩气电离,产生电子和离子而导电,导电的气体受高频电磁场作用,形成与耦合线圈同心的涡流区,强大的电流产生的高热,从而形成火炬形状的并可以自持的等离子体,由于高频电流的趋肤效应及内管载气的作用,使等离子体呈环状结构。
样品由载气(氩)带入雾化系统进行雾化后,以气溶胶形式进入等离子体的轴向通道,在高温和惰性气氛中被充分蒸发、原子化、电离和激发,发射出所含元素的特征谱线。根据特征谱线的存在与否,鉴别样品中是否含有某种元素(定性分析);根据特征谱线强度确定样品中相应元素的含量(定量分析)。
2.2 电感耦合等离子体原子发射光谱法测定中存在的干扰 [2]
电感耦合等离子体原子发射光谱法测定中通常存在的干扰大致可分为两类:
一类是光谱干扰,主要包括连续背景和谱线重叠干扰;另一类是非光谱干扰,主要包括化学干扰,电离干扰,物理干扰等。因此,除应选择适宜的分析谱线外,干扰的消除和校正也是必须的,通常可采用空白校正,稀释校正,内标校正,背景扣除校正,干扰系数校正,标准加入等方法。
2.3 对仪器的一般要求
等离子发射光谱法光谱仪由样品引入系统,电感耦合等离子(ICP)光源,色散系统,检测系统等构成,并配有计算机控制及数据处理系统,冷却系统,气体控制系统等。样品引入系统 按样品状态不同可以分为液体或固体进样,通常采用液体进样方式。样品引入系统由两个主要部分组成:样品提升部分和雾化部分。样品提升部分一般为蠕动泵,也可使用自提升雾化器。要求蠕动泵转速稳定,泵管弹性良好,使样品溶液匀速地泵入,废液顺畅地排出。雾化部分包括雾化器和雾化室。样品以泵入方式或自提升方式进入雾化器后,在载气作用下形成小雾滴并进入雾化室,大雾滴碰到雾化室壁后被排除,只有小雾滴可进入等离子体源。要求雾化器雾化效率高,雾化稳定性高,记忆效应小,耐腐蚀;雾化室应保持稳定的低温环境,并需经常清洗[3]。常用的溶液型雾化器有同心雾化器,交叉型雾化器等;常见的雾化室有双通路型和旋流型。实际应用中宜根据样品基质,待测元素,灵敏度等因素选择合适的雾化器和雾化室。
电感耦合等离子体光源的"点燃",需具备持续稳定的纯氩气流,炬管,感应圈,高频发生器,冷却系统等条件。样品气溶胶被引入等离子体源后,在6,000K~10,000K的高温下,发生去溶剂,蒸发,离解,激发,电离,发射谱线。根据光路采光方向,可分为水平观察 ICP 源和垂直观察 ICP 源;双向观察ICP。光源可实现垂直/水平双向观察。实际应用中宜根据样品基质,待测元素,波长,灵敏度等因素选择合适的观察方式。电感耦合等离子体原子发射光谱的单色器通常采用光栅或棱镜与光栅的组合,光源发出的复合光经色散系统分解成按波长顺序排列的谱线,形成光谱。 电感耦合等离子体原子发射光谱的检测系统为光电转换器,它是利用光电效应将不同波长光的辐射能转化成电信号。常见的光电转换器有光电倍增管和固态成像系统两类。固态成像系统是一类以半导体硅片为基材的光敏元件制成的多元阵列集成电路式的焦平面检测器,如电荷耦合器件(CCD),电荷注入器件(CID)等,具有多谱线同时检测能力,检测速度快,动态线性范围宽,灵敏度高等特点。检测系统应保持性能稳定,具有良好的灵敏度,分辨率和光谱响应范围。 冷却和气体控制系统 冷却系统包括排风系统和循环水系统,其功能主要是有效地排出仪器内部的热量。循环水温度和排风口温度应控制在仪器要求范围内。气体控制系统须稳定正常地运行,氩气的纯度应不小于99.99%。

7. 电感耦合等离子体光谱仪是什么原理,在检测时有什么优点

原理介绍:高频振荡器发生的高频电流,经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端,铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氩气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道,环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁,防止管壁受热熔化的作用。工作气体(Ar)则由中部的石英管道引入,开始工作时启动高压放电装置让工作气体发生电离,被电离的气体经过环绕石英管顶部的高频感应圈时,线圈产生的巨大热能和交变磁场,使电离气体的电子、离子和处于基态的氖原子发生反复猛烈的碰撞,各种粒子的高速运动,导致气体完全电离形成一个类似线圈状的等离子体炬区面,此处温度高达6000一10000摄氏度。样品经处理制成溶液后,由超雾化装置变成全溶胶由底部导入管内,经轴心的石英管从喷咀喷入等离子体炬内。样品气溶胶进入等离子体焰时,绝大部分立即分解成激发态的原子、离子状态。当这些激发态的粒子回收到稳定的基态时要放出一定的能量(表现为一定波长的光谱),测定每种元素特有的谱线和强度,和标准溶液相比,就可以知道样品中所含元素的种类和含量。
应用优点:
一.材料类
1.难熔合金的元素含量分析;
2、高纯有色金属及其合金的元素微量分析;
3、金属材料、电源材料、贵金属研究和生产用微量元素分析
4.电子、通讯材料及其包装材料中的有害物质元素含量检测
5.医疗器械及其包装材料中的有害物质及化学成分
二.环境与安全类
1.食具容器、包装材料的成分分析及有害物质分析
2.应用于食品卫生重金属含量测试和食品检测分析
3.水(污水、饮用水、矿泉水等)中的:有害重金属及阴离子等
4.玩具、儿童用品及其包装材料中的:有害重金属(锑、砷、钡、铬、镉、铅、汞等)
5.肥料中的重金属及微量元素:砷、汞、铅、隔、铬、锰、铁等
6.化妆品、洗涤剂及其包装材料中的有害成分:砷、汞、铅等
三.医药食品类
1.中西药及其包装材料中的有害重金属、微量元素、有效成分等
2. 生物组织中的重金属、微量元素及有机成分
3.保健品及生物制品中的有害成分、营养成分等
4.食品及其包装材料中的有害物质、重金属、微量元素及其它营养成分
四、地质、矿产、农业、大学
1、地质、土壤的元素含量检测;用于地质、土壤的研究所、环境监测站;
2、矿物质的定性和定量分析;
3、农业研究所或大学用的材料元素含量检测、地质土壤元素检测、环境样品检测分析;
五、任何高纯物质检测
1、氯碱化工的高纯烧碱及其原材料的微量元素分析;
2、高纯药品中间体

8. 等离子体发射光谱仪的原理、结构、应用及注意事项是什么

原理:原子在高温下会发射出特征谱红线,根据特征谱线的强度可以对含量进行定量和定性的检测.
结构:等离子体发生装置,分光系统主要是光栅等,CCD检测系统,信号强度处理系统.
应用:主要用于元素含量的定性定量检测,主要的仪器是ICP-AES,厂家有:珀金埃尔默\瓦里安等,国产的北就国光的还可以。
注意事项:主要是使用是环境温度要尽量恒定,另外粉尘是仪器杀手,如何保持清洁卫生很重要。

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