蒸餾水：就是將水蒸餾、冷凝的水，以去除電解質及與水沸點相差較大的非電解質為主，無法去除與水沸點相當的非電解質，純度也用電導率衡量。
去離子水：顧名思義就是去掉了水中的除氫離子、氫氧根離子外的其他由電解質溶於水中電離所產生的全部離子。即去掉溶於水中的電解質物質。由於電解質溶於水中電離所產生的離子能增大水的導電能力，去離子水純度自然用電導率來衡量。去離子水基本用離子交換法製得。但去離子水中可以含有不能電離的非電解質，如乙醇等。
純水就是去掉了水中的全部電解質與非電解質，也可以說是去掉了水中的全部非水物質。基本都用反滲透法製得。由於在反滲透預處理中絕大多數都先用活性碳去除了部分非電解質，並且電導率非常容易測量，所以純水純度往往也用電導率衡量。但如果要獲得極高純度的高純水，還是需通過去除電解質的混床、EDI方法。
超純水,是一般工藝很難達到的程度，採用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm 。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什麼雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，一般不可直接飲用，對身體有害，會析出人體中很多離子。
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